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机译:多层沉积和EUV反射表征131? LLaL的aIa飞行镜
Soufli, R; Robinson, J C; Spiller, E; Baker, S L; Dollar, F J; Gullikson, E M;
机译:有源多层反射镜可在极端紫外线(EUV)波长下进行反射率调整
机译:旨在原位修复用于EUV光刻的Ru盖多层反射镜上的碳沉积:利用电子诱导化学
机译:太阳能X-EUV成像仪中的EUV多层镜子
机译:太阳动力天文台上的大气成像组件仪器的EUV多层反射镜的带内和带外反射率校准
机译:用于多层反射镜的EUV /软X射线区域中材料的光学常数。
机译:EUV反射率表征94/304?飞行二级aIa镜子在高级光源的光束线6.3.2
机译:去除极紫外(EUV)反射EUV镜多层涂层部分的层的方法,涉及将氢引入到涂层部分的含硅层中以分离涂层部分的层
机译:膜沉积系统,膜沉积方法,多层膜反射镜和EUV曝光设备
机译:膜沉积装置,膜沉积方法,多层膜反射镜和EUV曝光装置
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